不規(guī)范使用廢氣處理設(shè)備的法律后果：

對未配套建設(shè)廢氣治理設(shè)施的企業(yè)依法責(zé)令停產(chǎn)，限期整改；除惡臭異味治理外，新建企業(yè)一律不得采用單一低溫等離子、光催化、光氧化、水噴淋等低效末端治理技術(shù)，現(xiàn)有企業(yè)應(yīng)盡快更換為高效治理工藝(如燃燒技術(shù)等)或采用多種工藝組合式進(jìn)行改造。

《中華人民共和國大氣污染防治法》第一百零八條違反本法規(guī)定，有下列行為之一的，由縣級以上人民政府生態(tài)環(huán)境主管部門責(zé)令改正，處二萬元以上二十萬元以下的罰款；拒不改正的，責(zé)令停產(chǎn)整治：

(一)產(chǎn)生含揮發(fā)性有機(jī)物廢氣的生產(chǎn)和服務(wù)活動，未在密閉空間或者設(shè)備中進(jìn)行，未按照規(guī)定安裝、使用污染防治設(shè)施，或者未采取減少廢氣排放措施的；

(二)工業(yè)涂裝企業(yè)未使用低揮發(fā)性有機(jī)物含量涂料或者未建立、保存臺賬的；

(三)石油、化工以及其他生產(chǎn)和使用有機(jī)溶劑的企業(yè)，未采取措施對管道、設(shè)備進(jìn)行日常維護(hù)、維修，減少物料泄漏或者對泄漏的物料未及時收集處理的；

(四)儲油儲氣庫、加油加氣站和油罐車、氣罐車等，未按照國家有關(guān)規(guī)定安裝并正常使用油氣回收裝置的；

(五)鋼鐵、建材、有色金屬、石油、化工、制藥、礦產(chǎn)開采等企業(yè)，未采取集中收集處理、密閉、圍擋、遮蓋、清掃、灑水等措施，控制、減少粉塵和氣態(tài)污染物排放的；

(六)工業(yè)生產(chǎn)、垃圾填埋或者其他活動中產(chǎn)生的可燃性氣體未回收利用，不具備回收利用條件未進(jìn)行防治污染處理，或者可燃性氣體回收利用裝置不能正常作業(yè)，未及時修復(fù)或者更新的。